X熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X熒光光譜儀能將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進(jìn)行同時測定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質(zhì)測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。

X熒光光譜儀是一種無損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

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