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掃描電鏡束流小，電子探針能來妒又妒土譜分析結果比掃描電鏡能譜精確一個數量級，電子探針元素面掃描可以用能譜，也可以用波譜，一般對輕元素(C以下)，波譜較準確，相對來說波譜掃描時間較長，一般定性及半定量基本用能譜。能量色散X射線譜英文全稱:Energy Dispersive Spectroscopy，原理:利用不同元素的X射線光來自子特征能量不同進行成分分析么寬始準強降夫山者升。X射線具有一定穿透性，能夠穿透一定深度的鍍層，所以在一定計量的X射線下，通過使用準直器限定射線斑的大小，可以檢測到鍍層信號以及鍍層下基材的信號。鍍層越厚，鍍層信號越強
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